微量氧分析儀的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測的氧氣先通過一個小的毛細口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，到達電極表面。傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計保證會有適量的氣體進入與感應(yīng)電極反應(yīng)產(chǎn)生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應(yīng)電極發(fā)生氧化/還原反應(yīng)，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產(chǎn)生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應(yīng)出氣體中的氧濃度。

　　微量氧分析儀是一種精密的氣體分析儀表，不同行業(yè)實際使用過程中，工況差距非常大。不同工況也對測量結(jié)果有著一定的影響，使用過程中需要注意以下的事項，來避免因工況和認為使用原因?qū)е碌臏y量結(jié)果不準確。

　　分析儀取樣管路的密閉性：

　　在實際測量中，樣氣壓力一般都為正壓，但樣氣中的氧是微量級的，根據(jù)法拉利定律，氧的分壓與其體積含量成正比，環(huán)境空氣中氧含量約21%，與以PPM計算濃度的樣氣的氧分壓相差一萬倍左右，因而氣樣中微量氧的分壓遠低于大氣中的氧分壓，當出現(xiàn)泄漏時，大氣中的氧便會從泄漏部位迅速擴散進來。

　　微量氧分析儀檢測的就是ppm級別的氧含量，因此配套管線必須嚴格密封，非常微小的管線泄漏（管線連接點、接頭等）都會導致環(huán)境空氣中的氧擴散進來，造成實際測量數(shù)值偏高。

　　其次，盡量減少管線長度和管線接頭數(shù)量，且同時保證接頭及閥門氣密性良好，管線連接完畢后，應(yīng)做氣密性檢查。氣密性檢查的要求：0.25MPAm測試壓力下，30分鐘，壓降不大于0.01MPA。

　　最后就是使用前執(zhí)行檢漏，初次啟用前必須嚴格檢漏。儀器只有在嚴密不漏的前提下才能獲得準確的數(shù)據(jù)結(jié)果。